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【概要描述】錦正茂科技10nm級(jí)4K液氦極低溫系統(tǒng)該系統(tǒng)由氦制冷機(jī)、氦壓縮機(jī)、水冷機(jī)、真空泵組、溫度傳感器、控溫儀、真空腔體、KF25真空抽口、以及制冷機(jī)支架、樣品臺(tái)、樣品卡等附件共同構(gòu)成。
品牌 | 錦正茂 | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬(wàn)-30萬(wàn) |
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,電氣 |
一、概述:
系統(tǒng)組成:
該系統(tǒng)由氦制冷機(jī)、氦壓縮機(jī)、水冷機(jī)、真空泵組、溫度傳感器、控溫儀、真空腔體、KF25真空抽口、以及制冷機(jī)支架、樣品臺(tái)、樣品卡等附件共同構(gòu)成。錦正茂科技10nm級(jí)4K液氦極低溫系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn):
1.制冷量:一級(jí)制冷7W@45K,二級(jí)制冷1.0W@4K,所需電為380V,50Hz。
2.工作壓力:<2×10-4Pa;正常生產(chǎn)時(shí),會(huì)經(jīng)過氦氣質(zhì)譜檢漏儀撿漏,真空度可以達(dá)到10-4Pa,(可選10-6Pa)依據(jù)泵的極限真空而定。
3.溫度監(jiān)控:樣品臺(tái)處設(shè)置一處溫度測(cè)量點(diǎn),監(jiān)控并顯示樣品處的溫度。測(cè)溫精度±0.01K。
4.樣品降溫和升溫時(shí)間:制冷至4K的時(shí)間小于2.2h(腔室加大后會(huì)延長(zhǎng)制冷時(shí)間),制冷關(guān)機(jī)后在真空下恢復(fù)到常溫的時(shí)間小于3h,該裝置采用無(wú)液氦閉循環(huán)制冷機(jī)制冷,制冷量為4K@1.0W,無(wú)負(fù)載是降溫到70K所需時(shí)間為60min,當(dāng)安裝上負(fù)載后,考慮到負(fù)載以及相關(guān)支撐裝置的冷卻,制冷時(shí)間會(huì)相應(yīng)的加長(zhǎng),但是依據(jù)經(jīng)驗(yàn),該降溫時(shí)間大約在1.2h,滿足實(shí)驗(yàn)要求。
5.集成控制系統(tǒng):控制真空系統(tǒng)、制冷機(jī)的運(yùn)行及安全反饋功能。可設(shè)置和顯示工作目標(biāo)參數(shù)和系統(tǒng)工作狀態(tài),具備反饋安全控制功能。錦正茂科技10nm級(jí)4K液氦極低溫系統(tǒng)
技術(shù)指標(biāo):
震動(dòng)量:<10nm
變溫范圍:4.5K-325K (零下269.15℃-零上51℃)
測(cè)溫精度:0.01℃
真 空 度:10-4pa
光學(xué)窗口:2只(可定制)
窗口材料:熔融石英
輸出電極:8根
二、操作流程
1:將按照所需要做的實(shí)驗(yàn)進(jìn)行安裝相應(yīng)的卡具。安裝完成后按照?qǐng)D紙將系統(tǒng)組件完畢。
2:使用分子泵組將分子泵組的分子泵抽氣端口和真空腔體的KF25的真空抽氣口用焊接波紋管連接在一起,打開波紋管上的高真空擋板閥,開啟分子泵組,將系統(tǒng)內(nèi)的真空度降至低于2X10-4Pa,關(guān)閉擋板閥移除波紋管(若實(shí)驗(yàn)時(shí)不礙事可以不進(jìn)行拆除);
3:連接控溫儀,開啟壓縮機(jī),對(duì)系統(tǒng)內(nèi)的進(jìn)行降溫,降溫至4K以下。在控溫儀上顯示附近的溫度,以及冷頭處的溫度。
4:測(cè)試完成后,關(guān)閉壓縮機(jī),等待系統(tǒng)自動(dòng)升溫。
熱仿真分析
在降溫至4K時(shí),制冷機(jī)的功率為1.2W,此時(shí)對(duì)整個(gè)所處環(huán)境進(jìn)行熱仿真分析,具體分析結(jié)果如下圖。
根據(jù)熱仿真結(jié)果可知,在4.2K時(shí),溫度均勻一致。
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