【概要描述】10nm超低震動4K變溫系統 液氦極低溫集成控制系統:控制真空系統、制冷機的運行及安全反饋功能。可設置和顯示工作目標參數和系統工作狀態,具備反饋安全控制功能。
品牌 | 錦正茂 | 價格區間 | 10萬-30萬 |
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電子,航天,電氣 |
一、概述:
系統組成:
該系統由氦制冷機、氦壓縮機、水冷機、真空泵組、溫度傳感器、控溫儀、真空腔體、KF25真空抽口、以及制冷機支架、樣品臺、樣品卡等附件共同構成。10nm超低震動4K變溫系統 液氦極低溫
產品特點:
1.制冷量:一級制冷7W@45K,二級制冷1.0W@4K,所需電為380V,50Hz。
2.工作壓力:<2×10-4Pa;正常生產時,會經過氦氣質譜檢漏儀撿漏,真空度可以達到10-4Pa,(可選10-6Pa)依據泵的極限真空而定。
3.溫度監控:樣品臺處設置一處溫度測量點,監控并顯示樣品處的溫度。測溫精度±0.01K。
4.樣品降溫和升溫時間:制冷至4K的時間小于2.2h(腔室加大后會延長制冷時間),制冷關機后在真空下恢復到常溫的時間小于3h,該裝置采用無液氦閉循環制冷機制冷,制冷量為4K@1.0W,無負載是降溫到70K所需時間為60min,當安裝上負載后,考慮到負載以及相關支撐裝置的冷卻,制冷時間會相應的加長,但是依據經驗,該降溫時間大約在1.2h,滿足實驗要求。
5.集成控制系統:控制真空系統、制冷機的運行及安全反饋功能。可設置和顯示工作目標參數和系統工作狀態,具備反饋安全控制功能。10nm超低震動4K變溫系統 液氦極低溫
技術指標:
震動量:<10nm
變溫范圍:4.5K-325K (零下269.15℃-零上51℃)
測溫精度:0.01℃
真 空 度:10-4pa
光學窗口:2只(可定制)
窗口材料:熔融石英
輸出電極:8根
二、操作流程
1:將按照所需要做的實驗進行安裝相應的卡具。安裝完成后按照圖紙將系統組件完畢。
2:使用分子泵組將分子泵組的分子泵抽氣端口和真空腔體的KF25的真空抽氣口用焊接波紋管連接在一起,打開波紋管上的高真空擋板閥,開啟分子泵組,將系統內的真空度降至低于2X10-4Pa,關閉擋板閥移除波紋管(若實驗時不礙事可以不進行拆除);
3:連接控溫儀,開啟壓縮機,對系統內的進行降溫,降溫至4K以下。在控溫儀上顯示附近的溫度,以及冷頭處的溫度。
4:測試完成后,關閉壓縮機,等待系統自動升溫。
熱仿真分析
在降溫至4K時,制冷機的功率為1.2W,此時對整個所處環境進行熱仿真分析,具體分析結果如下圖。
根據熱仿真結果可知,在4.2K時,溫度均勻一致。
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